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硅波导耦合测试系统技术解析,硅光芯片封装必备设备

伴随硅光技术产业化进程持续推进,硅光芯片广泛应用于高速光通信、数据中心光电互联领域。硅波导芯片结构精密,芯片波导尺寸微小,光纤与硅波导对位耦合对设备定位精度、温控稳定性、视觉观测清晰度都有较高标准,硅波导耦合测试系统成为硅光芯片封装、研发测试阶段不可或缺的专用设备。
硅波导耦合测试系统集成高精度六轴位移平台、高倍率机器视觉成像系统、集成式 TEC 温度控制模块、专用耦合控制软件,整套系统针对硅光芯片微小波导做专项优化。设备视觉系统搭载高分辨率镜头,能够清晰呈现微米级硅波导轮廓,辅助操作人员完成精准初步对位;配套 TEC 温控模块可稳定调控芯片测试温度,规避温度波动造成波导折射率变化,降低耦合损耗波动。
系统内置适配硅光器件的智能寻优算法,启动自动耦合程序后,平台多维度细微扫描,快速锁定硅波导与光纤最优耦合点位,自动记录耦合损耗、光功率等关键实验数据。整套系统兼顾研发实验室样品测试与小规模硅光芯片封装生产,可适配不同尺寸晶圆切割后的硅光芯片,配套专用真空吸附夹具,稳固固定微小芯片,避免对位过程芯片移位。
上海勤畅光电针对硅光产业需求,独立研发硅波导耦合测试系统,软硬件全部自主设计开发,设备重复定位精度满足硅光芯片耦合工艺标准。企业可根据自身研发或量产需求,定制适配特殊规格硅光芯片的非标夹具,同时配套完整设备调试、操作培训服务。
从事硅光芯片研发、封装的企业与科研单位,在选购硅波导耦合测试系统时,可重点关注视觉成像倍率、平台重复定位精度、温控模块温度调节范围,结合芯片尺寸、测试工艺需求,合理搭配配套工装与功能模块,保障硅光芯片耦合测试数据稳定可靠。

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