硅波导耦合测试台

耦合要求：
1. 耦合台核心运动部件：骏河精机，XYZ三轴电动，行程20-30mm，精度（最小步进）：50nm，旋转轴θXθYθZ，精度（灵敏度）达到0.05°
2.带真空吸附，芯片夹具温度控制，芯片夹具（1X4mm）
3.水平光纤夹具
4.能放置从两个方向观察耦合区域的CCD，垂直和水平，可拓展红光准直
5.半自动
6.光学平台：六维自由隔振，1~200Hz主动防振，>200Hz被动防振；承重30Kg ，不需要主动防震
7.满足基本运动控制软件和与sweep软件需求

例：水平耦合：
1.安装物料（如Lensed Fiber，硅波导芯片）
a. 安装物料，Lensed Fiber用V槽机械夹持固定，硅波导芯片用真空吸附固定
b.在CCD监控下，调整Fiber的位置，使其与硅波导芯片靠近；先调整角度再调整XYZ位置
2.耦合对准
a.微调六轴入射端使光通过硅波导，并通过输出端光功率计监控，直至有光信号
b.输入端不动，微调输出端XYZ，使得光功率值最佳，再调整输入端，使得光功率最佳，反复调整，直至调节任意一轴光功率都会变差为止，此时系统处于光功率最佳位置（相对接近真实值）
3.测试
接上需要测试的仪器仪表，进行测试和呈现。

核心耦合部分：

两组CCD观察系统：
独立式多维度观察系统，每组都有四个维度可以调节，灵活多变，节省空间，特别适合实验室应用
骏河精机六轴半自动调整架：
高精度，可靠性好，耐用，设计精巧，光轴重心低，且旋转轴，三个旋转轴心交叉于空间一点，可以提高耦合效率
温控芯片台：
将芯片夹具和温度控制模块设计在一起，小巧且实用